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芯源微获得发明专利授权:“一种晶圆上厚胶边缘的去除方法”证券之星消息,根据天眼查APP数据显示芯源微(688037)新获得一项发明专利授权,专利名为“一种晶圆上厚胶边缘的去除方法”,专利申请号为CN201911051717.8,授权日为2025年1月21日。专利摘要:本发明公开了一种晶圆上厚胶边缘的去除方法,属于半导体光刻技术领域。该方法针对小发猫。

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